英??灯だ嵴婵沼?jì)是一款廣泛應(yīng)用于真空測(cè)量領(lǐng)域的儀器。采用了皮拉尼式傳感技術(shù),能夠在低壓和高真空范圍內(nèi)提供精確的壓力測(cè)量。由于其穩(wěn)定性和可靠性,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、制藥、食品加工、實(shí)驗(yàn)室及其他高精度真空應(yīng)用的領(lǐng)域。

1.傳感器構(gòu)造:皮拉尼真空計(jì)內(nèi)包含一個(gè)加熱絲和溫度傳感器。加熱絲置于氣體中,當(dāng)加熱絲通電加熱時(shí),它會(huì)使周圍的氣體溫度升高。氣體分子碰撞加熱絲,帶走熱量,使加熱絲溫度下降。
2.氣體的熱導(dǎo)率:氣體的熱導(dǎo)率與氣壓成反比。氣壓越低,氣體分子的數(shù)量越少,帶走的熱量也越少,導(dǎo)致加熱絲溫度上升;反之,氣壓越高,氣體分子越多,帶走的熱量越多,加熱絲溫度下降。
3.壓力測(cè)量:溫度傳感器通過(guò)檢測(cè)加熱絲的溫度變化,將這些變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào),從而反映出氣體的熱導(dǎo)率變化,進(jìn)而測(cè)量出真空腔體內(nèi)的壓力。
4.壓力范圍:皮拉尼式真空計(jì)適用于中低真空范圍(大約1mbar到10^-3mbar),它能夠提供在該范圍內(nèi)非常精確的壓力數(shù)據(jù)。
英??灯だ嵴婵沼?jì)的應(yīng)用領(lǐng)域:
1.半導(dǎo)體制造:
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,真空環(huán)境的控制至關(guān)重要。能夠準(zhǔn)確測(cè)量低真空環(huán)境下的壓力,因此廣泛應(yīng)用于真空沉積、刻蝕、清洗等半導(dǎo)體制造工藝中。
2.電子行業(yè):
電子行業(yè)中,真空環(huán)境常用于生產(chǎn)電子元件、顯示器以及集成電路的制造過(guò)程。通過(guò)其準(zhǔn)確的壓力測(cè)量,幫助確保生產(chǎn)過(guò)程中的真空環(huán)境穩(wěn)定。
3.實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用:
在實(shí)驗(yàn)室中,許多物理和化學(xué)實(shí)驗(yàn)需要精確控制真空條件。能夠提供可靠的真空測(cè)量,因此在科研實(shí)驗(yàn)中得到廣泛使用。
4.制藥行業(yè):
在制藥行業(yè),尤其是在制藥過(guò)程中使用的真空濃縮、干燥等操作中,精確控制真空壓力是非常重要的。能夠提供精準(zhǔn)的壓力數(shù)據(jù),幫助控制這些過(guò)程。
5.食品加工:
真空包裝和真空烘干等過(guò)程在食品加工中越來(lái)越常見(jiàn)。能夠確保這些過(guò)程中的真空環(huán)境穩(wěn)定,幫助提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
6.科研與工業(yè)應(yīng)用:
在科研實(shí)驗(yàn)和工業(yè)應(yīng)用中,許多過(guò)程都需要精確控制真空條件,如物理真空實(shí)驗(yàn)、材料蒸發(fā)沉積等。憑借其精度和響應(yīng)速度,廣泛應(yīng)用于這些領(lǐng)域。