真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼嬌辖?jīng)過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應用于真空環(huán)境的真空度測量領(lǐng)域，如真空鍍膜，太陽能集熱管制作，真空冶煉等。

 

規(guī)管的分類

1、熱偶規(guī)

目前國內(nèi)的熱偶規(guī)主要有51系列，53B/54D等。主要應用于低真空測量。

2、皮拉尼系列（電阻規(guī)管）

目前國內(nèi)的電阻規(guī)型號主要是52T系列。主要以用于粗低真空測量。

PG-500 配合表頭使用

PG-600 通訊型 數(shù)字信號直接接入PC機

PG-700開關(guān)型 可以直接設(shè)定控制點，進行控制

3、熱陰極規(guī)管

主要型號有ZJ-2系列，ZJ-10系列，ZJ-27系列，B-A規(guī)等。

該型規(guī)管主要應用于高真空測量。

4、冷陰極規(guī)管（冷規(guī)）

如磁控規(guī)等